Linearachse / Lineartisch (Positioniersystem)
Linear Stages mit Hub von 10 - 2000 mm, bis 0.3 µm Wiederholgenauigkeit, bis 4000 mm/s Geschwindigkeit und 310 kg Last.
Leicht integrierbar
Unsere Linearachsen sind universell einsetzbar und lassen sich problemlos in
den Aufbau verschiedener Applikationen integrieren z.B. den Aufbau von XY-Bewegungen, Mehrachsanwendungen, Gantry und leicht kombinierbar mit rotatorischen Achsen.
Flexible Antriebskonzepte
Die Linearachsen sind mit verschiedenen Motorisierungen erhältlich – je nach
Anwendung kommen Schritt, DC oder AC Motoren sowie dynamische Linearmotoren zum Einsatz.
Anwendungen
Präzisionsscannen, Labor und Forschung, Zuführachsen für die Probenpositionierung, Laser, Inspektion, AOI, Halbleiter sowie Messtechnik
Produktvarianten
- Verfahrweg von 20 - 2000 mm
- Wiederholgenauigkeit bis 0.3 µm
- Geschwindigkeit von 10 - 4000 mm/s
- Last 0.5 - 310 kg
- Motoren: AC Servo, DC-Motor, Linearmotor, Piezo Motor
Optionen
- kundenspezifische Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
- Varianten Reinraum: bis Reinraum Klasse ISO 4 (höher auf Anfrage)
- Varianten Strahlung: UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage)
- Varianten Magnetismus: magnetisch, magnetarm, magnetfrei
- Varianten Vakuum: bis 10E-11 mbar (höher auf Anfrage)